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機械接觸式多晶硅測厚儀工作原理及操作步驟!

作者:中科電子 瀏覽: 時間:2025-03-26 15:52:46

信息摘要:

多晶硅材料測厚儀是專門用于測量多晶硅材料厚度的精密儀器,廣泛應用于塑料薄膜、薄片、隔膜、紙張、箔片、硅片等各種材料的厚度精確測量。

多晶硅材料測厚儀是專門用于測量多晶硅材料厚度的精密儀器,廣泛應用于塑料薄膜、薄片、隔膜、紙張、箔片、硅片等各種材料的厚度精確測量。濟南中科電子研發的“TCK-02測厚儀”其核心作用是快速、非破壞性地獲取材料的厚度數據,確保產品質量和工藝穩定性。


一、工作原理


機械接觸式多晶硅測厚儀通過探頭直接接觸材料表面,施加標準化的壓力(如17.5±1 kPa),利用高精度位移傳感器測量上下測量面之間的距離,從而計算厚度。其核心步驟包括:


探頭接觸:探頭自動升降,以恒定壓力接觸樣品表面,避免人為誤差。


數據采集:傳感器實時檢測位移變化,分辨率可達0.1 μm,部分型號支持0.01 μm可選。


數據分析:系統自動統計最大值、最小值、平均值及標準偏差,數據可存儲、導出或打印。



二、操作步驟


1、準備階段:


試樣處理:截取代表性多晶硅片,清潔表面。


設備校準:使用標準量塊或已知厚度的多晶硅片校準儀器。


參數設置:根據多晶硅特性選擇壓力、接觸面積等參數。


測厚儀.jpg


2、測試階段:


放置試樣:將硅片置于測量頭下方,確保表面與測量頭平行。


啟動測量:選擇手動或自動模式,測量頭降落并施加恒定壓力,記錄厚度值。


重復測量:多次測量取平均值以提高精度(建議多次測量)。


3、數據處理:


結果統計:自動計算最大值、最小值、平均值。


輸出與分析:通過打印機或電腦軟件導出數據,分析厚度分布。



三、產品優勢


濟南中科電子的TCK-02測厚儀 為核心代表,具備以下核心優勢:


1、高精度穩定輸出:采用進口傳感器,重復性誤差≤0.4 μm,適配多晶硅片、薄膜、金屬箔等多種材料。


2、智能操作界面:工業級彩色高清觸摸屏,支持多級權限管理,數據自動存儲、打印,歷史記錄一鍵追溯。


3、廣泛適用性:量程覆蓋0~12 mm,滿足光伏硅片(150~200 μm)、半導體晶圓(厚度偏差<±1 μm)等場景需求。


4、標準化設計:嚴格符合GB/T 6618、ISO 534等20余項國內外標準,適配全球市場要求。


結語


濟南中科電子的機械接觸式測厚儀,以技術創新為核心,助力企業實現精準質量控制。無論是追求效率的生產線,還是嚴謹的實驗室,這些設備都能成為提升產品競爭力的可靠伙伴。




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